陕西省互联网宗教信息服务许可证的办理流程如下：

1. 准备申请材料：

    - 填写互联网宗教信息服务申请表。

    - 提供法人组织或非法人组织登记证原件及复印件。

    - 提交法定代表人或者主要负责人身份证原件及复印件，若是宗教教职人员，还须提交宗教教职人员证原件及复印件。

    - 准备互联网宗教信息服务信息审核人员登记表及情况说明，包括审核人员参加宗教政策法规和相关宗教知识的教育培训，以及具备审核能力的情况说明。

    - 准备健全的互联网宗教信息服务管理制度、信息安全管理制度和技术保障措施材料。

    - 提供用于从事互联网宗教信息服务的场所、设施和资金情况说明。

    - 提交申请人及其法定代表人或者主要负责人近3年内无犯罪记录和无违反国家宗教事务管理有关规定情况承诺书。

    - 提供拟从事互联网宗教信息服务的栏目、功能设置和域名注册相关材料。

    - 若申请提供互联网宗教信息传播平台服务，还应当提交平台注册用户管理规章制度、用户协议范本、投诉举报处理机制等材料。

2. 提交申请：

    - 申请主体须通过邮寄（邮政EMS）或现场递交纸质申请材料至西安市新城省政府前大楼8楼012室陕西省民族宗教事务委员会政策法规处。

3. 审核材料与实地考察（如有需要）：

    - 陕西省民族宗教事务委员会自受理申请之日起20日内作出批准或者不予批准的决定。受理机构会对申请材料进行初步审核，确认材料的完整性和合法性。根据需要，相关部门可能会安排对申请单位的实地考察，核实其运营情况。如果审核中发现材料不足，申请者需依据要求进行补充。

4. 发放许可证：

    - 作出批准决定的，核发《互联网宗教信息服务许可证》；作出不予批准决定的，应当书面通知申请人并说明理由。

申请人取得《互联网宗教信息服务许可证》后，还应当按照国家互联网信息服务管理有关规定办理相关手续。